(资料图片仅供参考)
1、1.硬件上的不同： 微孔孔径分析，需要二级涡轮分子泵，氮气相对压力P/P0才能够达到10-6的要求。
2、才能实现超微孔（0.35nm-0.7nm）的精确分析；同时，需要小量程、高精度压力传感器（10 torr、1 torr或0.1 torr）的合理使用。
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